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如图5所示，软件原子吸收光谱仪是由光源、软件原子化系统、光学系统、检测系统和显示装置五大部分组成的，其中原子化系统在整个装置中具有至关重要的作用[21]。（3）对物质进行表面表征（小于10nm），为深可以进行元素价态分析和化学结构分析[35]，结合氩离子枪也可进行深度分析。

此外，造电质增通过显微AES还可以获得俄歇电子能谱元素分布图（SAM），但由于该分析方法耗时非常长，一般很少使用。此外作者还对同一煤样共6份，力需力提用来计算相对标准偏差即为方法的精密度，力需力提并按照IUPAC定义得到检出限，结果表明测试相对标准偏差小于5%，准确度符合要求。但是能谱仪分辨率较差，求响峰背比低，谱峰重叠严重[27]。

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图7COOH-P-SPCE的SEM图像和EDS图谱[26]5 电子能谱分析法电子能谱分析法是采用单色光源或电子束去照射样品，软件使样品中电子受到激发而发射出来，软件然后测量这些电子的产额（强度）与能量的分布，从而获得材料信息。

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